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气体传感器的工作原理与新技术发展
发布时间:2010-04-09   点击次数:1690次

 

声表面波(SAW)式气体传感器
SAW气体传感器制作在压电材料的衬底上,一端的表面为输入传感器,另一端为输出传感器。两者之间的区域淀积了能吸附VOC的聚合物膜。被吸附的分子增加了传感器的质量,使得声波在材料表面上的传播速度或频率发生变化,通过测量声波的速度或频率来测量气体浓度,主要气敏材料有聚异丁烯、氟聚多元醇等,用来测量苯乙烯和甲苯等有机蒸汽。其优势在于选择性高,灵敏度高,在很宽的温度范围内稳定,对湿度响应低和良好的可重复性。SAW传感器输出为准数字信号,因此可简便地与微处理器接口。此外,SAW传感器采用半导体平面工艺,易于将敏感器与相配的电子器件结合在一起,实现微型化、集成化,从而降低测量成本。W石英振子式气体传感器
石英振子微秤(QCM)由直径为数微米的石英振动盘和制作在盘两边的电极构成。当振荡信号加在器件上时,器件会在它的特征频率(1~30MHz)发生共振。振动盘上淀积了有机聚合物,聚合物吸附气体后,使器件质量增加,从而引起石英振子的共振频率降低,通过测定共振频率的变化来识别气体。
高分子气体传感器,对特定气体分子具有灵敏度高,选择性好,且结构简单,可在常温下使用,补充其它气体传感器的不足,超声波气体传感器发展前景良好。
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