冷镜露点仪具有精度高、量程广、价格便宜等优点，适用于钢铁、石化、干燥箱、制药烤箱、环境测试、校准实验室、喷漆室、过程气监测及气体生产等领域。冷镜露点仪以的工业微型冷却器作为冷源，无需辅助制冷，弥补了传统冷镜式露点仪在环境温度30℃以上时表现不佳，辅助制冷器体积大等缺陷，基于工业微型冷却器快速稳定的制冷能力，冷镜露点仪采用精密巡检式冷镜测量法，该测量法相较于传统平衡式测量法，在保证测量精度的同时缩短了测量周期，降低了测量过程中的气体损耗。

冷镜露点仪是一台以微处理器为基础的智能型仪表，能够快速、自动、准确地测量样品气体露点及水分含量，并可进行数据处理和存储等，当输入压力参数时，该仪表可自动测量并显示ppm的对应值。其显示部分能够显示气体中的含水量、露点、工作状态等信息，并能通过按键任意选择显示内容。仪器使用了“加速预判”技术和快速干燥测量单元，从空气湿度环境测量至-70oC露点能在10分钟之内完成。

冷镜露点仪的阻容法是一种不断完善的湿度测量方法。利用一个高纯铝棒，表面氧化成一层超薄的氧化铝薄膜，其外镀一层多空的网状金膜，金膜与铝棒之间形成电容，由于氧化铝薄膜的吸水特性，导致电容值随样气水分的多少而改变，测量该电容值即可得到样气的湿度。该方法的主要优点是测量量程可更低，甚至达-100℃，另一突出优点是响应速度非常快，从干到湿响应一分钟可达90%，冷镜露点仪因而多用于现场和快速测量场合；缺点是精度较差，不确定度多为±2～3℃。老化和漂移严重，使用3~6个月必须校准。但随着各厂家的不断努力，该方法正在逐渐得到完善，例如，通过改变材料和提高工艺使得传感器稳定度大大提高，通过对传感器响应曲线的补偿作到了饱和线性，解决了自动校准问题。